一層目の成膜スタッパー工程。丸い部分が真空チャンバー。ディスクにイオンを叩きつけて薄膜化する

一層目の成膜スタッパー工程。丸い部分が真空チャンバー。ディスクにイオンを叩きつけて薄膜化する