東芝、感度を40%高めた動画デジカメ対応の裏面照射CMOS

-1/2.3型1,460万画素。300mmウエハー採用、'10年に量産


裏面照射型CMOSの構造

10月27日発表


 株式会社東芝は27日、CMOSセンサー「Dynastron」の新製品として、裏面照射(BSI)型の1,460万画素モデルを開発したと発表した。'09年末よりサンプル出荷を開始し、サンプル価格は5,000円前後。量産は'10年第3四半期(7~9月)より行なう。

 新製品は1/2.3型、1,460万画素のCMOS。BSI型は高感度/高速処理が特徴で、特に動画撮影に適していることから、同社は「今後高画質センサーで主流になる」と見込み、今回の製品化を機にデジタルカメラ向けに本格参入するとしている。

 BSI型は、受光部に入る光が配線層により少なくならないよう、裏面から光を入れる設計・加工技術。CMOSセンサーの高画素化による感度低下の問題を解消する。今回の新製品は、画素ピッチを業界最小という1.4μmとしながら、同社従来品に比べ感度を約40%高めた。フレームレートは60fpsに対応し、1080p/720p動画撮影にも利用可能。

 生産は大分工場で行ない、BSI型のラインとしては世界最先端という300mmウエハー、65nmプロセス技術を採用。月産50万個の規模で量産を始め、需要拡大に応じて生産規模を拡大するとしている。

 同社では、CMOSセンサー事業をシステムLSIの注力分野と位置付けており、小型/低消費電力化技術を活かし携帯電話向けを中心に展開してきたが、今後は先端プロセスを活用したBSI型の本格展開により、デジタルカメラなどの新用途にも拡大し、事業を強化するとしている。



(2009年 10月 27日)

[AV Watch編集部 中林暁]