エプソンとTEL、有機ELディスプレイ製造で共同開発契約

　セイコーエプソンと東京エレクトロン(TEL)は11日、有機ELディスプレイ製造技術の共同開発契約を締結したと発表。両社の専門技術を組み合わせることで、次世代の有機ELディスプレイ製造技術の確立を目指す。

　有機ELディスプレイの製造で、ガラス基板上に有機材料を成膜する工程における「インクジェット方式による有機材料の均一成膜技術」など、セイコーエプソンは製造の核となる技術を数多く保有。また、液晶テレビ用カラーフィルタの大型塗布装置を開発/販売するなど、産業用インクジェット技術についてもノウハウを蓄積してきたという。

　一方、東京エレクトロンは、フラットパネルディスプレイ製造装置事業において、最新の超大型基板サイズまでのドライエッチング装置やコータ/デベロッパなどの製品を開発/販売。ワールドワイドにサービス拠点を展開している。

　今回の共同開発は、セイコーエプソンのインクジェットを用いた有機ELディスプレイ製造技術と、東京エレクトロンの装置技術を融合させるものと位置付けており、「今後は次世代の有機ELディスプレイ製造技術をトータルパッケージとして提案できるよう共同開発を進める」としている。